포토레지스트 굽는 램프

리소그래피 공정에서 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생겨도, 단순히 라인의 너비에만 영향을 미치는 것이 아닙니다. 이로 인해 CD 제어가 어려워지고, 측벽의 각도도 변하며, 최종 제품의 품질도 저하됩니다. 베이크 램프는 클린룸 내에서 온...