파편 발생을 막아라: 적외선 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, 이런 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 글로브박스 안에 있는 석영 램프가 고장나는 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 유리 조각...

왜 우리는 화장실용 히터를 극한의 조건에서 테스트하는가? 솔직히 말해, 화장실은 전자제품에 있어서 악몽과도 같은 곳입니다. 짙은 수증기와 갑작스러운 물방울, 그리고 급격한 온도 변화로 인해 온도계조차 제대로 작동하지 않습니다. 우리는 IP65 기준을 충족시키는 인파라...

300mm 생산 라인에서는 베이킹 과정에서 단 0.5도라는 미세한 온도 변동도 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 베이킹할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. Axcelis의 히터 부품들은 공정 상의 온도를 항상 일정하게 유지하...