화학 세척 구역에서 적외선 히터를 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 가연성 기체와 부식성 화학물질들이 있으며, 장비도 그 중간에 위치해 있습니다. 반도체 공장에서는 극소한 스파크나 석영 커버의 작은 균열조차도 단순한 “기술적 문제”가 아니라 재앙을 초래할 수 있습니다.
그래서 우리는 열린 형태의 히터 대신 밀폐형 구조를 사용하기로 했습니다.
유해 물질 차단 일반적인 히터의 경우 전선이 노출되어 있어 아크가 발생하기 쉽습니다. 이를 해결하기 위해 우리는 이중 장벽 구조를 사용합니다. 모든 부품을 밀폐된 석영 커버로 감싼 뒤, 내화성이 뛰어난 외부 보호막을 추가합니다. 이 보호막은 마치 갑옷처럼 작용하여 부식성 가스가 장비를 손상시키는 것을 막아줍니다. 또한 연결 부위에는 고온에 견딜 수 있는 프로필렌 폴리머 실란트를 사용하여 가스가 들어오지 못하도록 합니다.
열 관리 클린룸에서는 기판 자체에 열이 가해져야 하며, 주변 공기가 과도하게 뜨거워지면 안 됩니다. 우리는 와트수와 파장을 조절함으로써 빠르게 온도를 상승시킬 수 있으면서도 장비가 오븐처럼 변하지 않도록 합니다. 이 방식을 통해 원하는 높은 열 밀도를 얻을 수 있지만, 단점도 있습니다. 실란트가 너무 조여 있어 열이 히터 내부에 갇히게 됩니다. 따라서 배기 시스템이 그 열을 제대로 처리할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다.
폭발 위험이 있는 장소에서의 사용 우리는 이 히터들을 기존의 적외선 히터를 대체할 수 있도록 설계했습니다. 설치도 매우 간편합니다. 폭발 방지용 케이스와 강화된 케이블을 사용함으로써 폭발 위험을 줄였습니다. 또한 전선을 전도성 커넥터를 통해 연결함으로써 정전기가 발생하는 것을 막습니다. 이 방식을 통해 화학 물질을 건조시키는 데 필요한 높은 열 밀도를 얻을 수 있으며, 안전 규정을 위반할 염려도 없습니다. 다만, 기존 설비를 업그레이드할 때는 반드시 전압 용량을 잘 확인해야 합니다. 첫날부터 차단기가 작동할 수는 없으니까요.