웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼 가열 시스템이 고장 나는 것을 막는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 조금의 실수도 용납될 수 없습니다. 작은 아크나 약간의 누설 전류만 있어도, 한 번에 여러 개의 웨이퍼가 망가지고 제어 보드도 손상될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 모...