TEL (도쿄 일렉트론) 히터 램프

공정 현장에서 잘 아시겠지만, 소프트 베이크 온도가 2도만 벗어나도 치명적인 치수가 달라져 많은 제품이 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 ‘있으면 좋은 것’이 아니라 반드시 지켜야 하는 조건입니다. TEL 히터 램프는 리소그래피 셀에 필요한 열 제어를...