수소 센서 제조용 히터
수소 센서용 히터를 올바르게 사용하는 방법
수소 센서를 제작할 때는 열 제어가 매우 중요합니다. 화학적 증착 과정이 안정적이지 않다면, 전체 제품이 망가집니다. 우리는 고온 환경에서도 문제 없이 작동할 수 있는 히터를 만들지만, 진짜 문제는 바로 전기 누설입니다.
제...
웨이퍼 공정용 온도 센서
기계의 벽면을 가열하는 것을 중단하세요
대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도 전방위로 열이 퍼집니다. 웨이퍼 처리 장비에서 이는 문제가 됩니다. 그 많은 에너지가 웨이퍼에 도달하는 대신, 그 중 상당 부분이 장비의 내벽에 충돌하게 됩니...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
열 낭비를 막아야 합니다. 왜 골드 반사체가 중요한지 알아보겠습니다.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 1와트라는 에너지도 소중한 자원입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 점입니다. 알루미늄은 열...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
왜 핫에어 대신 적외선을 이용한 웨이퍼 건조 방식을 사용해야 하는가?
MEMS 제조 업무를 하고 있다면, 습식 에칭이나 세척 과정 후에 웨이퍼를 건조시키는 데 드는 시간의 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 분명한 병목 현상입니다. 제가 방문한 대부분의 공장들도...
스마트 센서 포장 적외선
왜 스마트 센서 제작에는 오븐 대신 적외선을 사용하는가?
오랫동안 반도체 패키징에는 거대한 대류식 오븐이 사용되어 왔습니다. 하지만 상황이 변하고 있습니다. 우리는 적외선을 이용한 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 그 이유는 세계적으로 ‘무납’ 및 친환경 에너지를 추...