재화 과정 가열 적외선

팹 플로어에서의 아싱 처리 아싱을 블랙 박스처럼 취급할 수는 없습니다. 스트리핑 후 남은 포토레지스트는 수율을 저하시킬 수 있으며, 열 프로파일이 안정적이지 않으면 전체 배치를 손상시킬 수 있습니다. 엔지니어링된 열을 이용한 적외선 아싱은 매번 반복 가능한 열 예산을...