
Berhenti memanaskan peralatan tersebut, bukannya wafer yang sepatutnya dipanaskan.
Dalam fasiliti pengeluaran semikonduktor, memanaskan benda yang salah bukan sahaja tidak efisien, tetapi juga boleh menimbulkan risiko. Jika anda menggunakan pemanas jenis radiasi biasa, anda pasti tahu betapa sukar untuk mengawal suhu tersebut. Panas akan tersebar ke mana-mana. Akibatnya, dinding dalaman mesin yang mahal itu akan menyerap semua tenaga tersebut. Ini menyebabkan mesin menjadi terlalu panas, dan para pekerja pula perlu berhadapan dengan risiko keselamatan yang sebenarnya tidak perlu mereka hadapi.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lampu inframerah yang dapat mengarahkan haba ke satu titik tertentu. Logiknya sangat mudah: Kebanyakan lampu memancarkan haba dalam lingkaran 360 darjah. Dalam persekitaran yang sempit seperti fasiliti pengeluaran semikonduktor, tenaga yang terbuang ini akan menjadikan badan mesin sebagai “penyerap haba” yang besar. Namun, lampu inframerah kami berbeza. Kami menggunakan reflektor khusus dan penyesuaian panjang gelombang untuk mengarahkan haba ke satu titik tertentu. Dengan cara ini, haba akan sampai kepada wafer atau substrat yang sepatutnya dipanaskan. Dinding mesin pula tidak akan terkesan oleh haba tersebut.
Namun, ada satu kelemahan yang perlu diketahui. Berita baiknya ialah anda dapat mendapatkan tahap haba yang lebih tinggi di tempat yang diperlukan, tanpa perlu memanaskan bahagian lain dari mesin tersebut. Ini merupakan cara yang lebih selamat untuk bekerja. Namun, anda perlu memastikan bahawa posisi lampu tersebut tepat. Kerana tenaga yang dihasilkan sangat tinggi, sedikit saja kesilapan dalam penempatan lampu boleh menyebabkan haba tersebar ke tempat yang salah. Jika hal ini berlaku, bahan yang digunakan boleh rosak. Alat penyokong lampu perlu sangat stabil. Jika lampu bergetar atau bergerak walaupun beberapa milimeter, profil haba mesin akan terganggu.
Untuk pemasangan di kilang, proses penggantian lampu ini agak mudah. Kami menghabiskan banyak masa untuk memastikan bahawa lampu tersebut tidak memanaskan komponen elektrik mesin semasa ia beroperasi. Apabila haba tidak dibazirkan lagi, beberapa perkara akan berlaku: bil elektrik akan menurun, permukaan mesin akan tetap sejuk, dan mungkin yang paling penting, anda tidak perlu lagi bergantung pada kipas penyejuk yang besar atau pelindung haba yang mahal untuk mengelakkan mesin daripada rosak.