Ngăn chặn nguy cơ hư hỏng hệ thống sưởi ấm wafer
Khi sưởi ấm các tấm silic, không thể có chút sai sót nào xảy ra được. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc dòng điện rò rỉ ít ỏi thôi cũng đủ để phá hủy toàn bộ số wafer đó, đồng thời làm hỏng các bo mạch điều khiển. Đó quả là một cơn ác mộng.
Vì vậy, chúng tôi coi từng ống đèn như một nguồn nguy cơ tiềm ẩn. Chúng tôi không dám mạo hiểm. Mỗi ống đèn đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chống điện và độ cách điện trước khi được đưa ra sử dụng.
Những rủi ro liên quan đến vật lý học
Để đạt được mức độ dày lớp cách điện mong muốn, chúng tôi phải đưa ống thạch anh vào tình trạng hoạt động ở mức tối đa. Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để kiểm soát khoảng cách giữa sợi dây tóc钨 và thành ống. Tại sao ư? Bởi vì nếu sợi dây tóc di chuyển dù chỉ vài milimét thôi, điện trường sẽ tăng lên đáng kể. Đó chính là lúc xảy ra hiện tượng đứt gãy vật liệu cách điện.
Các bài kiểm tra của chúng tôi rất khắt khe. Chúng tôi áp dụng điện áp cao hơn nhiều so với mức điện áp được sử dụng trong quá trình sản xuất thực tế. Nếu lớp thạch anh hoặc các phần kín của ống đèn không thể chịu đựng được áp lực này, chúng sẽ không thể hoạt động tốt trong máy của bạn.
Không có việc “khảo sát ngẫu nhiên” nào cả
Một số xưởng chỉ kiểm tra vài chiếc trong một lô hàng và hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Chúng tôi không làm vậy. Mỗi ống đèn đều phải trải qua các bài kiểm tra kỹ lưỡng. Chúng tôi theo dõi dòng điện rò rỉ ở các mức điện áp khác nhau để đảm bảo độ cách điện vẫn ở mức mong muốn. Điều này giúp ngăn chặn hiện tượng dòng điện len lỏi qua bề mặt vật liệu cách điện. Nếu bạn hoạt động trong phòng sạch có độ ẩm cao, hiện tượng này thường gây ra các sự cố ngắn mạch không mong muốn.
Những điều bạn cần biết về những sự đánh đổi
Điều quan trọng là bạn không thể có tất cả mọi thứ. Nếu chúng tôi muốn đạt được mức độ cách điện cao, chúng tôi có thể cần sử dụng lớp thạch anh dày hơn hoặc khoảng cách an toàn lớn hơn. Điều này có thể ảnh hưởng đến đặc tính phát sóng hồng ngoại của ống đèn và làm thay đổi lượng nhiệt tỏa ra. Bạn có thể cần điều chỉnh khoảng cách tập trung ánh sáng và các bộ điều khiển PID để đạt được hiệu suất tốt nhất. Và một lời khuyên nữa: đừng để công suất đèn quá cao nếu hệ thống làm mát của bạn yếu. Nếu các phần kín của ống đèn bị quá nóng, điều đó sẽ ảnh hưởng đến chất lượng chân không và độ tinh khiết của khí trong buồng. Và chẳng ai muốn điều đó cả.