廉价晶圆干燥灯泡

在晶圆制造现场，晶圆烘干温度的漂移会迅速反映在光刻胶轮廓上。你会在显影后看到T顶现象，蚀刻后则表现为线宽控制的偏差。我们开发了一款低成本的烘干灯泡，以排除热漂移的影响。 技术要点 该灯泡利用短波红外实现快速、局部加热，响应时间低于一秒。主要用于软烘和硬烘步骤，能将整片晶圆的设定点重复性控制在...