可调光半导体加热灯

在光刻工艺中，如果烘烤温度出现0.5°C的波动，就可能导致线条宽度发生纳米级的变化——这将使得数小时的工作成果付诸东流。我们设计了这种可调光半导体加热灯，旨在从源头阻止这种温度波动，从而让温度控制成为一个可重复的工艺参数，而非随机变量。 从技术层面来看： 该灯采用石英外壳来封装短波红外元件，因为石...