PVD 物理气相沉积 灯

在晶圆厂车间，非计划停机不需要事后分析——你可以从损失的晶圆和刚错过的规格窗口中直接感受到。当PVD腔室的灯管故障时，该批次的整体热预算就会告急。我们设计了这款PVD灯，防止这种情况发生，它可以全天候24小时运行且不打折扣。 技术关键点 该灯具具备快速热响应和目标区域内严格的均匀性，使温度在关键烘...