光阻烘烤灯

在光刻工序中，无论是软烘还是硬烘，温度只要发生1°C的变化，都会影响线宽的精确度。同时，还会影响CD值的控制，以及侧壁的角度，进而影响产品的良率。实际上，烘烤灯就像是洁净室中的“温度监控员”，确保温度始终处于最佳状态。 从技术层面来看，关键在于使用能够保持±0.1°C精度的全局温度均匀性的光刻胶烘...