晶圆制造中的聚酰亚胺固化

在晶圆厂车间，聚酰亚胺固化不仅仅是一个工序，而是影响良率的关键因素。温度偏差1.5°C，就会改变应力分布，导致晶圆翘曲，浪费数小时的光刻工序。我们设计的热平台能够确保固化曲线始终保持在工艺窗口内，连续运行稳定可靠。 技术关键点 我们在整个固化温度范围内实现±0.1°C的晶圆级均匀性，采用短波红外光...