灰化过程加热红外线

在晶圆厂车间，不能将灰化视为一个黑匣子。剥离后残留的光刻胶会影响良率，如果热轮廓不稳定，可能会导致整批晶圆报废。采用经过工程设计的红外灰化加热可以实现每次重复的热预算。 技术关键 我们直接用短波红外发射器照射光刻胶——快速耦合的热量直接进入光刻胶层，而非载体。这样能控制灰化前沿，维持晶圆级均匀性在...