IRランプが工場内で爆発を引き起こさないようにする方法
正直に言えば、化学洗浄エリアでIRヒーターを使用するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気や腐食性の化学物質が漂っており、装置もその真ん中にあるのです。半導体工場では、わずかな火花や石英ケースの微細なひび割れでさえ、単なる「技術的なトラブル」どころではなく、大惨事を招く可能性があります。 そのため、私たちは開放型のランプ構造を使うのをやめ、密閉型のケースを採用しました。
悪影響を防ぐための対策
通常のランプの場合、配線が露出しているため、アーク現象が起こりやすくなります。これを解決するために、二重の遮断構造を採用しています。 すべてを密閉された石英ケースで覆い、さらに耐薬品性のある外側のシールドを追加します。これにより、腐食性のガスが支持構造を侵食するのを防ぎます。また、接続点には高温耐性のフッ素ポリマー製のシールを使用しています。そうすれば、ガスが入ってくることはありません。
熱の管理
クリーンルームでは、基板自体に熱が加わるようにしたいのです。空気を過度に加熱してしまっては意味がありません。そのため、出力や波長を調整し、ケースがオーブンのようにならないようにしています。 これにより、十分な制御が可能になりますが、注意点もあります。シールが非常にしっかりしているため、熱がランプの内部に留まってしまいます。したがって、排気システムがその熱を適切に処理できるかを確認する必要があります。そうでなければ、フィラメントが早々に壊れてしまいます。
爆発性のある場所でも使用可能
これらのランプは、既存のIRアレイの代替品として設計されています。取り付けも簡単です。 防爆仕様のケースや強化された配線を使用することで、発火リスクをなくしています。さらに、配線を導電性のチューブ内を通すことで、静電気の蓄積を防ぎます。 これにより、化学物質の乾燥に必要な高い熱密度を得ることができ、安全規則を破る心配もありません。ただし、古い設備をアップグレードする場合は、高出力の装置を接続する前に、電圧容量を必ず確認してください。初日からブレーカーが落ちてしまっては困ります。