クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛び散ったり、ガスが漏れ出したりしてしまうのです。
だからこそ、私たちは半導体用のヒーターとして、高純度の合成石英を使った赤外線ランプを採用しました。
なぜ石英なのか？
考えてみてください。金属製のヒーターには孔があり、そこにほこりが溜まります。また、金属イオンが製造エリアに漏れ出す可能性もあります。一方、石英は違います。石英は融成シリカであり、極端に高温になっても安定しています。劣化したり、剥がれ落ちたりすることもありません。さらに、赤外線を利用するため、熱は直接対象物に届きます。周囲の空気に影響を与えないため、層流状態が維持されます。
熱に関する詳細
これらのランプは非常に高温になるように設計されており、素早く加熱します。小さなスペースに多くのパワーを込めているため、ウェーハが移動中でも適切な温度を維持できます。
使用している電力に合わせて、ワット数や電圧を調整することも可能です。ただし、注意が必要です。これらのランプは非常に高温になります。チャassisが壊れないように、必ず適切な保護装置を使用してください。
取り付け方法
コネクタは標準的なものを使用しているため、既存の設備に簡単に取り付けることができます。シールもしっかりしているため、真空漏れや粒子の侵入を心配する必要はありません。
ただし、一つだけ注意点があります：絶対に素手で石英に触れないでください。
簡単に思えますが、皮脂が付着すると目に見えない傷ができます。その傷が熱の集中点となり、結果としてチューブが早期に故障してしまいます。必ず手袋を着用してください。
注意深く取り付ければ、極めて高い純度と迅速な反応性を得ることができます。