Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen!
Die meisten Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – also in einem 360-Grad-Winkel. In einer Waferbearbeitungsmaschine ist das ein Problem. Anstatt dass die Energie auf den Wafer gerichtet wird, trifft ein großer Teil davon auf die inneren Wände der Maschine. Das ist ein Verschwendung von Energie. Schlimmer noch: Dadurch werden die Außenwände der Maschine so heiß, dass sie jemanden verbrühen können.
Deshalb verwenden wir eine gerichtete Heizung.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie hingehört
Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer herkömmlichen Glühbirne zu einer Taschenlampe vor. Wir nutzen interne Reflektoren sowie spezielle Beschichtungen, um die Strahlung in eine bestimmte Richtung zu lenken. Dadurch geht die Wärme direkt auf den Wafer und bleibt von den Wänden der Maschine fern. So müssen Sie nicht mehr Energie dafür aufwenden, die Luft sowie die Stahlwände zu erwärmen. Zudem muss das Kühlsystem der Maschine nicht mehr so hart arbeiten. Es ist einfach alles einfacher.
Der schwierige Teil – und wie man damit umgeht
Durch die Konzentration der Energie entsteht eine viel höhere Wärmestärke auf der Oberfläche des Wafers. Das ist ideal für Präzisionswerkzeuge, bei denen die Temperaturhomogenität entscheidend ist. Doch man muss vorsichtig sein mit dem Fokuspunkt. Wenn die Lampe zu nah ist, entstehen heiße Punkte. Wenn sie zu weit entfernt ist, breitet sich der Strahl aus – und der Sinn der gerichteten Heizung geht verloren. Man muss also die Ausrichtung genau richtig einstellen, damit die Wände der Kammer kühl bleiben.
Sicherheit und weitere wichtige Aspekte
Es geht nicht nur um die Stromrechnung – sondern auch darum, keine Verbrühungen zu riskieren. Wenn der Innenraum kühl bleibt, wird die Wartung sowie das Beladen der Werkzeuge für die Mitarbeiter deutlich einfacher.
Das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt in die Standard-Infrarotröhren eingebaut werden können. Wir verwenden Quarzkapseln, sodass diese den thermischen Schock ohne Risse überstehen können.
Ein kleiner Hinweis: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Stromversorgung. Da die Leistung so stark konzentriert ist, kann der Stromverbrauch anders sein als bei einer herkömmlichen Glühbirne. Stellen Sie sicher, dass die Wattzahl passt – dann ist alles in Ordnung.