در کارخانههای تولید روی سیلیکون، به سرعت متوجه میشوید که تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای پخت فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد حیاتی قطعات شود؛ این تغییرات میتواند در مقیاس نانومتری باشد. سیستم گرمایش مبتنی بر امواج مادونقرمز باید پروفیلهای حرارتی یکنواختی را در هر بار پخت ارائه دهد؛ بدون اینکه ذراتی وارد فرآیند تولید شوند یا باعث کاهش بازدهی فرآیند شوند.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از ماژولهای گرمایش مبتنی بر امواج مادونقرمز با منابع تولید امواج کوتاه و سیستم کنترل حلقه بسته استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود یکنواختی دمای سطح سیلیکون در منطقه پخت در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. واکنش سیستم در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد؛ بنابراین پروفیلهای حرارتی ثابت باقی میمانند. این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ زیرا از موادی با میزان گازخروجی کم استفاده میشود و مسیر تولید نیز به گونهای طراحی شده که تولید ذرات کاهش یابد. توان خروجی این سیستم در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کاری، ثابت باقی میماند؛ تغییرات در شدت توان نیز کمتر از ۵٪ است.
چرا این سیستم در فرآیند لیتوگرافی مهم است؟
در فرآیند لیتوگرافی، کنترل دما بسیار مهم است. روشهای پخت نرم و سخت، دمای مورد نظر را سریعتر به دست میآورند و آن را برای مدت طولانی حفظ میکنند؛ بنابراین ضخامت فوتورزیست، یکنواختی لبههای آن و ابعاد حیاتی قطعات، قابل پیشبینی خواهند بود. نتیجه این است که توزیعات دقیقتری حاصل میشود، تعداد محصولات نامرغوب کمتر میشود و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. این سیستم به راحتی میتواند در تجهیزات نیمههادی استفاده شود؛ زیرا از استانداردهای بینالمللی برای اتصالات و کنترل سیستم پیروی میکند.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟
برای نصب این سیستم، باید مشخصات مکانیکی و الکتریکی تجهیزات را در نظر بگیرید؛ همچنین باید نوع کانکتورها، ولتاژ و سیستم خنککننده را با پلتفرم خود مطابقت دهید. انتظار داشته باشید که برای تنظیم پروفیل حرارتی برای سیلیکونهای مورد نظر، نیاز به یک آزمایش کوتاه باشد. توان خروجی این سیستم بر اساس مرحله پخت انتخاب میشود؛ بنابراین پروفیلهای توان بسیار بالا پشتیبانی نمیشوند. با در نظر گرفتن این محدودیتها، این سیستم میتواند ۲۴ ساعته کار کند، به شرط انجام تعمیرات منظم.