در فرآیند برنینگ، تغییرات دمایی سریعاً مشخص میشوند؛ این تغییرات منجر به اختلال در خطوط رزولوشن و کاهش بازدهی میشود. اگر پروفیلهای گرمایشی نامنظم باشند، پس از فرآیند اچینگ، ذرات باقیماندهای ایجاد میشود و خطاهای پارامتری نیز افزایش مییابد. ما سیستم لامپ گرمایشی خود را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
هسته اصلی این سیستم، یک لامپ هالوژن مادونقرمز با امواج کوتاه است؛ این لامپ در یک پوشش کوارتزی قرار دارد و برای گرمایش سریع و موضعی، با پاسخگویی در مدت زمان کمتر از یک ثانیه، طراحی شده است. در کل منطقه گرمایش، یکنواختی دمایی روی ویفرها در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین فوتورزیست در هر چرخه، میزان گرمای یکسانی دریافت میکند. در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰، فرآیند مونتاژ بدون تولید هیچ ذرهای انجام میشود؛ این امر باعث پاکیزه باقی ماندن سطح ماسک، لنز و ویفر میشود.
خروجی این سیستم در طی بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ بنابراین میتوان از آن برای کار ۲۴/۷ استفاده کرد، بدون نیاز به تنظیم مداوم.
اینجاست که این لامپ ارزش خود را نشان میدهد: آن با دمای مورد نیاز فوتورزیست هماهنگ میشود، پروفیل گرمایشی لازم برای لیتوگرافی را فراهم میکند، و فرآیند برنینگ را بدون ایجاد نقاط گرم، انجام میدهد. نتیجه آن، کنترل دقیقتر CD، کاهش تعداد محصولات ناموفق، و امکان برنامهریزی دقیقتر برای چرخههای تست است. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ تنها هدف مورد نظر را گرم میکند، نه کل محفظه.
نصب این لامپ بسیار ساده است؛ کافی است اتصالات دستگاه خود را با اتصالات لامپ هماهنگ کنید و مسیر نوری را بررسی کنید. این لامپ با شدت بالایی کار میکند؛ بنابراین نیاز به سیستمهای محافظتی برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات اطراف وجود دارد. همچنین، باید بازرسیهای منظم بر روی کوارتز انجام شود تا همه چیز تمیز و یکنواخت باقی بماند.