چرا بهتر است از روش خشککردن با هوای داغ، به روش IR استفاده کنیم؟
اگر در زمینه تولید MEMS فعالیت میکنید، حتماً از دردسرهای ناشی از خشککردن ویفرها پس از فرآیندهای اتمام یا تمیزکاری آگاه هستید. این کار واقعاً یک مانع بزرگ است. اکثر کارخانههایی که بازدید کردهام، هنوز از روش خشککردن با هوای داغ استفاده میکنند. این روش قدیمی و قابل اعتمادی است، اما صادقانه بگویم، سرعت عملکرد آن خیلی کم است.
هوا در انتقال گرما عملکرد بسیار ضعیفی دارد؛ بنابراین باید مدت زمان زیادی را صرف انتظار کرد تا هوا بتواند از میان کشش سطحی مایع عبور کند، تا زمانی که محلول شروع به تبخیر کند. این کار واقعاً آزاردهنده است.
زمان لازم برای خشککردن
فکر کنید یک فر همگنساز چگونه کار میکند؛ باید کل فضای موجود در فر را گرم کنید، تا بتوانید کار را شروع کنید. این فرآیند خیلی آهسته است.
اما روش گرمایش با امواج مادون قرمز متفاوت است؛ امواج مادون قرمز مستقیماً از میان مایع عبور کرده و به سطح ویفر برخورد میکنند. در واقع، شما واسطهها را حذف کردهاید.
من دیدهام که با استفاده از امواج مادون قرمز، زمان لازم برای خشککردن از چند دقیقه به چند ثانیه کاهش پیدا کرده است. این به این معنا نیست که گرمای تولید شده «بهتر» باشد؛ بلکه انرژی مستقیماً به جایی که نیاز است، منتقل میشود. برای کسانی که در خطوط تولید بزرگ فعالیت میکنند، این روش به این معناست که فضای لازم برای خشککردن کمتر میشود و ویفرها سریعتر از خط تولید خارج میشوند.
معایب این روش
البته، این روش کاملاً بدون معایب نیست. دستگاههای گرمایشی مادون قرمز، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند. برخلاف پمپهای هوا، این دستگاهها گرادیان حرارتی شدیدی ایجاد میکنند.
اگر کنترلکنندهها و سنسورهای مربوطه به درستی تنظیم نشوند، ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ ممکن است لبههای ویفر بیش از حد گرم شوند یا شوک حرارتی ایجاد شود. همچنین باید به فاصله بین لامپ و ویفر توجه کرد؛ اگر این فاصله کم باشد، نقاط گرم ایجاد شده و کار شما خراب خواهد شد.
نحوه استفاده از این روش
جایگزینی فر همگنساز با دستگاه گرمایشی مادون قرمز، معمولاً کار سادهای است؛ اما نباید فراموش کرد که سیمکشی نیز باید به درستی انجام شود.
لامپهای مادون قرمز، انرژی زیادی مصرف میکنند؛ بنابراین باید مطمئن شوید که سیستم الکتریکی شما میتواند بار اضافی را تحمل کند. پس از اینکه مسائل مربوط به انرژی حل شد، بهترین چیز این است که هیچ صدایی وجود نداشته باشد؛ بدون فن، بدون لولهها، بدون صدای زیاد. تعداد قطعات متحرک کمتر است، پس احتمال خرابی کمتر است و لرزش نیز کمتر خواهد بود. در واقع، این روش تمیزتر است.