持続可能なファブ製造ソリューション

機械自体を加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。狭い半導体製造施設では、これは大きな問題となります。無駄に発生した熱が装置の内壁に当たり、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これは非効率的であり、また、作業員...