赤外線熱を利用しても、物を爆発させないための対処法 もし、揮発性の溶剤を使った化学洗浄プロセスを行っているなら、通常の赤外線ランプは単なるツールではなく、危険な存在です。ちょっとした火花やシールの漏れだけで、大惨事につながりかねません。 私たちは、加熱要素を特別に設計されたステンレス製のケースの中...

ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 半導体製造工場では、間違ったものを加熱することは非効率的であり、危険でもあります。 もし一般的な放射型ヒーターを使用しているなら、その不便さはご存知でしょう。熱があちこちに散乱してしまいます。やがて、高価な機械の内壁がそのエネルギ...

IRランプが工場内で爆発を引き起こさないようにする方法 正直に言えば、化学洗浄エリアでIRヒーターを使用するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気や腐食性の化学物質が漂っており、装置もその真ん中にあるのです。半導体工場では、わずかな火花や石英ケースの微細なひび割れでさえ、単なる「...

機械自体を加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。狭い半導体製造施設では、これは大きな問題となります。無駄に発生した熱が装置の内壁に当たり、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これは非効率的であり、また、作業員...

揮発性化学物質の周辺でIRランプを安全に使用するために 正直言って、ファブ内でIRランプを使うのは不安なことです。可燃性や爆発性の化学物質の蒸気が漂っている状況では、単純にランプをそのまま使うのは危険すぎます。それは単なるリスクではなく、重大な問題です。 だからこそ、私たちは何も任せっぱなしにしま...

カーボンファイバー式の加熱装置を使えば、Fabをより効率的に使えるようになります。もし今でも古いタイプの抵抗加熱装置を使っているのであれば、不要な遅延や無駄なエネルギー消費が発生している可能性があります。そのため、多くの人々がカーボンファイバー式の赤外線ランプに切り替えています。このランプはカーボ...

はじめに 私たちは、半導体製造工場内で、アメリカや日本の有名メーカーの製品と競えるような、高品質なRTPランプを開発しました。目指したのは、同等の品質と再現性を実現しつつ、長期的に見てコストを抑えることです。つまり、高速での作業が行われても、余計な費用をかけずに安定した性能を得られるのです。 技術...

製造現場では、問題が発生する前には気づきにくいことがあります。乾燥時の温度均一性にわずかなばらつきがあるだけで、エネルギー消費量やスクラップの発生が増えてしまいます。ソフトベイクやクリーニング後の乾燥では、数度単位の精度が求められます。たとえわずかな熱点があっても、それがパターン上の欠陥として現れ...

ファブフロアにおけるポリイミド硬化は単なる工程の一つではなく、歩留まりを左右する要因である。温度を1.5℃ずらすだけで応力が変化し、ウェーハが反り、数時間分のリソグラフィ工程が無駄になる。そこで、ベークプロファイルを常に規定範囲内に維持できる熱プラットフォームを構築した。 技術的に重要なポイント...

フレキシブルディスプレイラインにおいて、フォトレジストのベークは単なる背景工程ではなく、歩留まりのゲートである。 ソフトベークまたはハードベークで1℃のズレが生じると、クリティカルディメンションがシフトし、スカミングが発生する。乾燥ランプは別の変動要因になってはならず、熱的に一定である必要がある。...