PVD 物理蒸着 ランプ

ファブフロアでは、予期しないダウンタイムに死後検証は不要です—失われたウエハやわずかに逃したスペックウィンドウでそれがわかります。PVDチャンバーのランプが故障すると、ランの全体的な熱バジェットが赤信号になります。このPVDランプはそのような事態を避けるために設計されており、手を抜くことなく24時...