폭발성 물질이 있는 환경에서 안전을 유지하는 방법
화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열할 때는 단순한 열원만으로는 부족합니다. 안심할 수 있어야 합니다.
연소성이나 폭발성이 있는 용매를 사용할 경우, 일반적인 적외선 램프는 도구에 불과할 뿐, 오히려 위험 요소가 될 수 있습니다. 그래서 저희는 특수한 케이싱을 사용하여 히터를 만듭니다. 이를 통해 화학 물질이 위험해지더라도 화재의 위험을 줄이고 안정성을 유지할 수 있습니다.
하우징 처리 방법
우리는 석영관을 그냥 그대로 두지 않습니다. 그렇게 하면 문제가 생길 수밖에 없습니다.
휘발성 증기가 가열 요소에 닿거나 사고를 일으키는 것을 막기 위해, 모든 부품을 밀폐된 방폭형 하우징으로 감싸줍니다. 고순도 석영유리를 사용하기 때문에 압력에 의해 변형되지 않아, 적외선이 웨이퍼에 정확하게 전달됩니다.
그리고 배선도 마찬가지입니다. 전기 연결부는 고온에 견딜 수 있는 게이지로 밀폐됩니다. 이를 통해 부식성 가스가 전자 장치에 닿는 것을 막아 예상치 못한 고장을 방지할 수 있습니다.
올바른 온도 조절
여기서 중요한 점은 짧은 파장의 적외선을 사용한다는 것입니다. 이를 통해 웨이퍼 표면을 직접 가열할 수 있습니다. 주변의 공기나 화학 물질을 가열할 필요가 없어 에너지 낭비가 줄어듭니다. 이는 용매의 인화점으로부터 멀어지는 데 큰 도움이 됩니다.
온도의 허용 오차도 매우 작습니다. 공정이 단 몇 도만 벗어나도 웨이퍼가 손상될 뿐만 아니라, 전체 공정이 중단될 수도 있습니다. 누구도 그런 상황을 원하지 않습니다.
실제 환경에서의 고려사항
솔직히 말해서, 고밀도 적외선 가열 방식에는 단점도 있습니다. 많은 전력이 필요하며, 빠른 가열 속도는 생산성에는 좋지만, 한 점에 집중된 열 때문에 케이스에는 강력한 열 방출 기능이 필요합니다.
하우징을 제대로 덮지 않으면 실란트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 이는 단순한 물리적 원리입니다.
저희는 기존 세척 라인에 즉시 대체할 수 있는 장비를 설계했습니다. 빠른 건조나 경화를 위해 필요한 높은 열 밀도를 얻을 수 있지만, 케이스 덕분에 전기와 화학 물질이 서로 분리됩니다. 스파크도 없고, 누수도 없습니다. 그저 제대로 작동하는 공정뿐입니다.