웨이퍼 가열 시스템이 고장 나는 것을 막는 방법
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 조금의 실수도 용납될 수 없습니다. 작은 아크나 약간의 누설 전류만 있어도, 한 번에 여러 개의 웨이퍼가 망가지고 제어 보드도 손상될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 모든 램프를 잠재적인 재앙원으로 간주합니다. 우리는 절대로 위험을 감수하지 않습니다. 모든 램프는 공장을 떠나기 전에 반드시 고전압 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다.
물리학의 무서운 측면
적절한 열 밀도를 얻으려면 석영관을 그 한계까지 사용해야 합니다. 우리는 텅스텐 필라멘트와 관벽 사이의 거리에 많은 신경을 씁니다. 왜냐하면 그 필라멘트가 단 몇 밀리미터만 움직여도 전기장이 집중되기 때문입니다. 그러면 절연체가 파괴됩니다.
우리의 테스트는 매우 까다롭습니다. 실제 생산에서 사용하는 것보다 훨씬 높은 전압을 가하여 테스트를 진행합니다. 만약 석영관이나 단자 부분이 이러한 테스트를 견디지 못한다면, 실제 기계에서도 작동하지 못할 것입니다.
“무작위 샘플링”은 없습니다
일부 공장들은 한 배치에서 몇 개만 테스트한 뒤 최선을 기대합니다. 하지만 우리는 그렇게 하지 않습니다. 모든 램프는 반드시 철저한 테스트를 거쳐야 합니다. 특정 전압에서의 누설 전류를 측정함으로써 절연 저항이 적절한 수준에 있는지 확인합니다. 이렇게 하면 전기가 절연체 표면을 따라 흐르는 현상을 막을 수 있습니다. 습도가 높은 클린룸에서는 이러한 현상이 발생하여 갑작스러운 단락이 일어날 수 있습니다.
알아두어야 할 타협점들
모든 것을 완벽하게 만들 수는 없습니다. 만약 높은 절연 성능을 원한다면, 더 두꺼운 석영관이나 더 넓은 안전 공간이 필요할 것입니다. 그렇게 되면 적외선 방출 패턴과 열 흐름도 변할 것입니다. 초점 거리와 PID 컨트롤러도 조정해야 합니다. 또 한 가지 조언: 램프의 냉각 시스템이 약하다면, 전력을 너무 높게 설정하지 마세요. 그렇게 되면 챔버 내의 진공 상태나 가스 순도가 손상될 수 있습니다. 그런 일은 누구도 원하지 않습니다.