웨이퍼 공정용 온도 센서

기계의 벽면을 가열하는 것을 중단하세요 대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도 전방위로 열이 퍼집니다. 웨이퍼 처리 장비에서 이는 문제가 됩니다. 그 많은 에너지가 웨이퍼에 도달하는 대신, 그 중 상당 부분이 장비의 내벽에 충돌하게 됩니...