기계의 벽면을 가열하는 것을 중단하세요
대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도 전방위로 열이 퍼집니다. 웨이퍼 처리 장비에서 이는 문제가 됩니다. 그 많은 에너지가 웨이퍼에 도달하는 대신, 그 중 상당 부분이 장비의 내벽에 충돌하게 됩니다.
이는 에너지 낭비입니다. 더욱 심각한 것은, 기계의 외부가 너무 뜨거워져 사람이 화상을 입을 수 있다는 점입니다.
그래서 우리는 방향성 있는 가열 방식을 사용합니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
마치 일반 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 우리는 내장된 반사판과 특수 코팅을 사용하여 열을 앞쪽으로 집중시킵니다. 이렇게 하면 열이 웨이퍼에 직접 전달되고, 장비의 내벽은 열의 영향을 받지 않습니다. 그 결과, 공기나 강철 벽을 가열하는 데 드는 비용도 줄어듭니다. 게다가, 시설의 냉각 시스템도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다. 모든 것이 더 편해집니다.
어려운 점과 그 해결 방법
에너지를 집중시키면 웨이퍼 표면의 열 밀도가 훨씬 높아집니다. 이는 온도 균일성이 매우 중요한 정밀 장비에 있어서는 유리합니다. 하지만 초점 위치를 조심해야 합니다. 램프가 너무 가까우면 과열이 발생합니다. 반대로 너무 멀리 있으면 열이 흩어져 방향성 있는 가열의 효과가 사라집니다. 그러므로 챔버의 벽면이 시원하게 유지되도록 초점을 정확하게 맞춰야 합니다.
안전과 기타 고려사항
벽면을 시원하게 유지하는 것은 단순히 전기 요금을 아끼기 위한 것이 아닙니다. 화상을 입지 않도록 하는 것도 중요합니다. 내부가 시원하면, 장비의 유지보수와 웨이퍼 로딩 작업도 훨씬 수월해집니다.
가장 좋은 점은, 이 제품들이 일반적인 적외선 램프를 대체할 수 있다는 것입니다. 석영으로 만들어져 있어 열 충격에도 깨지지 않습니다.
한 가지 주의할 점은 전원 공급 장치를 반드시 확인해야 한다는 것입니다. 출력이 매우 집중되기 때문에, 일반 전구와는 다른 전류가 필요할 수 있습니다. 와트수가 맞는지 꼭 확인하세요.