열 낭비를 막아야 합니다. 왜 골드 반사체가 중요한지 알아보겠습니다.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 1와트라는 에너지도 소중한 자원입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 점입니다. 알루미늄은 열을 필요한 곳으로 보내주는 대신 그 열을 흡수해버립니다.
그래서 우리는 골드를 사용합니다. 듣기에는 화려해 보일 수 있지만, 실제로는 매우 실용적인 선택입니다. 우리는 적외선 에너지가 웨이퍼에 제대로 도달하도록 하고, 기계의 본체가 불필요하게 달아오르는 것을 방지하려는 것입니다.
논리는 간단합니다. 골드는 알루미늄이나 스테인리스 스틸보다 적외선을 더 잘 반사합니다. 반사체 위에 정밀하게 골드 층을 코팅함으로써 에너지 손실을 줄일 수 있습니다. 그 결과, 더 많은 광자가 웨이퍼에 도달하게 됩니다. 이는 “더 나은 가열”보다는, 지불한 전력이 실제로 웨이퍼에 도달하도록 하는 것이 더 중요하기 때문입니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 고출력 적외선 램프는 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 골드 반사체를 사용하면 초점 부위의 열 밀도가 급격히 상승합니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않는다면, 반사체가 변형되거나 램프가 손상될 수 있습니다. 그러니 작동 온도를 주의 깊게 관찰하여 램프가 과도하게 달아오르는 것을 방지해야 합니다.
이제 현실적인 단점들을 살펴보겠습니다. 골드는 은이나 알루미늄보다 비쌉니다. 또한 청결 유지 면에서도 까다롭습니다. 단 한 번의 지문이나 먼지 조각만으로도 웨이퍼에 ‘저온 부위’가 생길 수 있습니다. 이로 인해 웨이퍼 전체의 온도가 고르지 않아 결과가 좋지 않아집니다.
장갑을 착용하세요. 고품질의 세정제를 사용해야 합니다. 이러한 장비들을 조심스럽게 다루어야 합니다.
만약 가열 속도가 일정하지 않거나 웨이퍼 전체의 온도가 고르지 않다면, 현재 사용 중인 반사체가 너무 많은 에너지를 흡수하고 있는 것입니다. 골드 반사체로 교체하면 이 문제를 해결할 수 있습니다. 이렇게 하면 가열 장치가 고효율의 오븐이 됩니다.