与其给设备加热，不如直接给晶圆加热。在半导体制造工厂中，如果把热量施加到错误的位置上，那不仅效率低下，还会带来安全隐患。如果你使用的是普通的辐射式加热器，那么你就会知道其中的麻烦——热量会四处散射，最终被昂贵机器的内壁吸收。这样一来，机器的机壳就会过热，操作人员也面临着本不该有的安全风险。
为了解决这个问题，我们采用了定向红外加热灯。其原理其实很简单：普通的加热灯会将热量向四周扩散，而在空间有限的制造环境中，这些浪费的能量只会让机器的机壳变成一个巨大的散热器。而我们的红外加热灯则不同，它通过特殊的反射器和波长调节功能，将热量集中到某一特定方向。这样，热量就能直接照射到晶圆或基底上，而机器的墙壁则不会受到热量的影响。
不过，这里有一个需要考虑的缺点：由于热量高度集中，只要灯架有轻微的偏差，热点位置就会发生变化。一旦热点位置改变，就有可能损坏材料。因此，灯架的固定必须非常稳固。如果灯出现哪怕几毫米的位移，整个加热系统就会失效。
对于大多数固化装置来说，更换这种加热灯其实很简单。我们会仔细检查其热分布情况，确保它在工作时不会损坏周围的线路。一旦不再浪费热量，电费就会下降，设备的表面也会保持冷却状态。也许最棒的是，你不再需要那些大型且噪音大的冷却风扇或昂贵的隔热装置来防止机器过热了。