Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie ein Umfeld der Klasse 100 betreiben, wissen Sie, wie wichtig Sauberkeit ist. Schon eine winzige Staubpartikel oder ein wenig Ausgasung können dazu führen, dass Ihre Siliziumwafern zerstört werden. Das ist ein Albtraum. Die meisten herkömmlichen Heizgeräte eignen sich dafür nicht – sie geben Partikel ab oder lassen Gase entweichen, gerade dann, wenn man das auf keinen Fall zulassen darf.
Deshalb haben wir für unsere Heizgeräte für Halbleiterproduktion hochreine synthetische Quarz-Infrarotlampen verwendet.
Warum Quarz?
Denken Sie mal darüber nach: Heizgeräte mit Metallhüllen haben Poren. Diese Poren fangen Staub auf und können außerdem metallische Ionen in die Produktionszone freisetzen. Quarz hingegen ist etwas anderes – es handelt sich dabei um gefassten Siliziumdioxid. Dadurch bleibt Quarz selbst bei extrem hohen Temperaturen stabil. Er zerfällt nicht und löst sich auch nicht ab. Zudem wird durch die Infrarotstrahlung die Wärme direkt an das Ziel transportiert. Dadurch wird die umgebende Luft nicht beeinflusst, sodass der laminare Luftstrom dort bleibt, wo er hingehört.
Die technischen Details
Diese Lampen sind darauf ausgelegt, sehr heiß zu werden – und das schnell. Wir haben viel Leistung in einem kleinen Raum untergebracht, damit die Wafers während ihres Transports die richtige Temperatur halten.
Wir können die Leistung sowie die Spannung an Ihren bestehenden Stromkreis anpassen. Doch Achtung: Diese Geräte werden sehr heiß. Stellen Sie sicher, dass die Abschirmung Ihres Hebegeräts ausreichend ist, damit das Gehäuse nicht beschädigt wird.
Installation
Wir haben die Anschlüsse standardisiert. Sie können diese Lampen einfach in Ihre vorhandene Anlage einbauen – ohne besondere Probleme. Die Dichtungen sind ebenfalls gut, sodass Sie sich keine Sorgen um Leckagen oder eindringende Partikel machen müssen.
Eine wichtige Regel: Berühren Sie den Quarz auf keinen Fall mit bloßen Händen. Es mag einfach klingen, aber Hautöle hinterlassen unsichtbare Spuren. Diese Spuren verursachen Hotspots, und genau diese Hotspots führen dazu, dass die Lampen viel früher kaputtgehen. Verwenden Sie daher Handschuhe.
Es handelt sich dabei um einen fairen Tausch: Sie erhalten eine extrem hohe Reinheit sowie eine blitzschnelle Reaktionszeit – vorausgesetzt, Sie sind beim Einbau vorsichtig.