جلوگیری از انفجار سیستمهای گرمایشی ویفرها
هنگام گرم کردن ویفرهای سیلیکونی، هیچ فرصتی برای اشتباهات وجود ندارد. حتی یک جریان کوچک نیز میتواند باعث خرابی تمام ویفرها شود؛ همچنین میتواند باعث آسیب به بردهای کنترلی شود. این واقعاً یک کابوس است.
به همین دلیل، ما هر لامپ را به عنوان یک منبع احتمالی فاجعه در نظر میگیریم. ما ریسکی را به جان نمیخریم؛ هر لامپ قبل از اینکه از کارخانه خارج شود، تحت آزمایشهای استرسی قرار میگیرد.
جنبههای ترسناک فیزیک
برای دستیابی به تراکم حرارتی مناسب، باید از لامپهای کوارتزی استفاده کرد؛ اما این کار نیازمند تلاش زیادی است. ما زمان زیادی را صرف بررسی فاصله بین رشتههای تنگستن و دیواره لامپ میکنیم. چرا؟ چون اگر این رشتهها حتی کمی جابجا شوند، میدان الکتریکی افزایش مییابد؛ در نتیجه، عایقبندی لامپ از بین میرود.
آزمایشهای ما بسیار سختگیرانه هستند؛ ما ولتاژی بسیار بالاتر از آنچه در تولید استفاده میشود، را به لامپها وارد میکنیم. اگر لامپها نتوانند این فشار را تحمل کنند، در دستگاه شما نیز عملکرد خوبی نخواهند داشت.
هیچ نمونهبرداری تصادفیای وجود ندارد
برخی از کارخانهها فقط چند تکه از لامپها را آزمایش میکنند و امیدوارند که همه چیز خوب پیش برود؛ اما ما چنین کاری نمیکنیم. هر لامپ باید تحت آزمایشهای دقیق قرار بگیرد؛ ما جریان نشت الکتریکی را در ولتاژهای مختلف بررسی میکنیم تا مطمئن شویم که مقاومت عایقبندی در سطح مناسبی باقی میماند.
توجه به مزایا و معایب
نکته مهم این است که نمیتوان همه چیز را داشت. اگر بخواهیم از عایقبندیهای قویتری استفاده کنیم، ممکن است نیاز به کوارتزهای ضخیمتر یا فاصلههای ایمنی بیشتری داشته باشیم؛ این کار میتواند منجر به تغییر در پروفایل انتشار اشعه مادون قرمز و تغییر در جریان حرارتی شود. احتمالاً نیاز خواهید داشت که فاصله کانونی و کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید تا همه چیز درست کار کند. یک توصیه نیز این است که اگر سیستم خنککننده لامپ ضعیف باشد، ولتاژ را بیش از حد بالا نبرید؛ چون این کار میتواند باعث اختلال در خلأ یا خلوص گازهای موجود در اتاق شود. و هیچ کسی چنین چیزی را نمیخواهد.