IRエネルギーを最大限に活用するために
クリーンルームで作業を行う際、電力を無駄にするのは非効率的だけでなく、問題も多いです。シリコンウェーハを加熱するときには、「より多くの熱」が必要なだけではありません。そのエネルギーを正しい場所に届けることが重要です。
問題は、一般的なアルミニウム製の反射板は、あまりにも多くのエネルギーを吸収してしまう点です。そのため、代わりに金メッキされた反射板を使用します。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線スペクトルをどのように扱うかという点にあります。金はアルミニウムやステンレス鋼よりもはるかに多くの光を反射します。ランプの外殻に薄い金の層を塗ることで、反射板が熱を奪うのを防ぎます。そうすることで、IR放射線は直接前方に向かって進みます。結果として、ウェーハに届くエネルギー量が増え、ベンチフレームに漏れる熱は大幅に減少します。これはずっと効率的な作業方法です。
熱の対処
これらのランプは高い出力を発揮できるように設計されています。しかし、大量のワット数を狭い空間に集中させると、熱密度が非常に高くなります。これは温度を急速に上昇させるのには適していますが、装置に大きな負担をかけます。必ず、配線がその電流に耐えられるか確認してください。また、冷却ファンもしっかりと機能しているか確認しましょう。もし冷却ファンが十分に機能しなければ、ランプの先端が壊れてしまいます。
正常な動作の維持
これらのランプは簡単に交換できるように設計されていますが、重要なのはその形状です。ただし、金は優れているものの、完全無欠というわけではありません。コーティングが傷ついたり、クリーンルームで使われる化学物質で汚れたりすると、熱の均一性が失われてしまいます。その結果、ウェーハに熱ばらつきが生じ、問題が起こります。反射板を常に清潔に保ちましょう。また、専用のIR電源を使用することをお勧めします。そうすれば、急激な電圧の変動によってフィラメントが破損するのを防げます。
24時間365日稼働させる場合は、数ヶ月ごとに点検を行いましょう。金は長持ちしますが、表面に汚れが溜まると効率が悪くなってしまいます。