ウェーハ加熱システムが爆発しないようにするために シリコンウェーハを加熱する際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかなアークや漏れ電流があっただけで、一括してウェーハが破壊され、制御ボードも破損してしまいます。本当に最悪です。 そのため、私たちは、各ランプ管を潜在的な災害源として捉えてい...

なぜ、私たちはバスルーム用ヒーターを厳しい試験にかけるのか？ 正直に言えば、バスルームという環境は電子機器にとって最悪の場所です。濃厚な蒸気や水しぶきが飛び散り、温度も激しく変動します。そんな環境では、温度計でさえも正確な測定ができないでしょう。 私たちは、IP65規格に準拠した赤外線素子を製造し...

オーブンを待っている時間を止めよう：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし、依然として半導体の加工に強制送風方式を使用しているのであれば、実質的には半日を待つことに費やしていることになります。 強制送風方式の仕組みを考えてみましょう。空気を加熱し、その空気がチャンバーを温めます。そして運が良ければ、最終...

製造現場では、バーンイン処理やフォトレジストの加熱処理中に生じる温度変動は、すぐに現れます。それによりライン幅が不安定になったり、歩留まりが低下したりします。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが乱れると、エッチング後に残留物が残り、パラメトリックな故障が増えてしまいます。私たちは、このような...

ファブフロアでは、アッシングをブラックボックスとして扱うことはできません。ストリッピング後に残留するフォトレジストは歩留まりを減少させ、熱プロファイルが安定していなければロット全体をダメにする可能性があります。設計された加熱を用いた赤外線アッシングは、毎回再現可能な熱バジェットを提供します。 技術...