ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 半導体製造工場では、間違ったものを加熱することは非効率的であり、危険でもあります。 もし一般的な放射型ヒーターを使用しているなら、その不便さはご存知でしょう。熱があちこちに散乱してしまいます。やがて、高価な機械の内壁がそのエネルギ...

ファブフロアにおけるポリイミド硬化は単なる工程の一つではなく、歩留まりを左右する要因である。温度を1.5℃ずらすだけで応力が変化し、ウェーハが反り、数時間分のリソグラフィ工程が無駄になる。そこで、ベークプロファイルを常に規定範囲内に維持できる熱プラットフォームを構築した。 技術的に重要なポイント...