灰化工程加熱赤外線

ファブフロアでは、アッシングをブラックボックスとして扱うことはできません。ストリッピング後に残留するフォトレジストは歩留まりを減少させ、熱プロファイルが安定していなければロット全体をダメにする可能性があります。設計された加熱を用いた赤外線アッシングは、毎回再現可能な熱バジェットを提供します。 技術...