熱の無駄遣いをやめよう：なぜゴールド製の反射板が重要か シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットというエネルギーも大切な資源です。多くの人々は標準的なアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、アルミニウムが多くのエネルギーを吸収してしまうことです。つまり、必要な場所にエネルギーを送る代わりに...

製造現場では、フォトレジストの焼成温度が0.5℃変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまうことをすぐに理解できます。ウェーハのIR加熱装置は、一回ずつ同じような熱処理を実現しなければならず、プロセス中に粒子が発生したり、稼働時間が損なわれたりしてはいけません。 重要なのは何か？...