破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。 問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしま...

なぜ、私たちはバスルーム用ヒーターを厳しい試験にかけるのか？ 正直に言えば、バスルームという環境は電子機器にとって最悪の場所です。濃厚な蒸気や水しぶきが飛び散り、温度も激しく変動します。そんな環境では、温度計でさえも正確な測定ができないでしょう。 私たちは、IP65規格に準拠した赤外線素子を製造し...

300mmラインでは、ベイク工程においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり...