공정 기술 기사
제조 현장에서 예기치 않은 다운타임은 사후 분석이 필요하지 않습니다. 손실된 웨이퍼와 방금 놓친 사양 창에서 이를 확인할 수 있습니다. PVD 챔버 램프가 고장 나면 전체 열 예산이 적자 상태에 빠집니다. 우리는 이러한 상황이 발생하지 않도록 이 PVD 램프를 설계하였으며, 이는 24시간 7일 내내 코너를 줄이지 않고 작동합니다.
기술적으로 중요한 사항
이 램프는 빠른 열 응답과 타겟 전반에 걸친 밀접한 균일성을 제공하므로, 중요한 베이크 단계 동안 온도가 ±0.1°C 이내로 유지됩니다. 단파 적외선 프로파일은 온도에 빠르게 도달하여 열 지연을 줄이고, 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 프로파일을 필요에 맞게 조정할 수 있도록 합니다. 클린룸 호환 재료와 밀폐된 구조는 입자 생성을 제로로 유지하므로 Class 1–100 환경에서 안정적으로 작동합니다. 긴 수명의 필라멘트 설계와 견고한 석영 봉투는 서비스 간격을 수 만 시간으로 늘리며, 5,000시간 후 출력 드리프트는 5% 이내로 유지됩니다.
PVD에서 작동하는 이유
PVD에서는 기판 온도의 안정성이 증착 속도, 필름 응력 및 접착력을 직접적으로 좌우합니다. 이 램프는 열 프로파일을 반복 가능하게 유지하므로, 스크랩 및 재작업이 줄어듭니다. 일관된 필름 두께, 웨이퍼당 낮은 에너지 소비, 그리고 램프 교체 횟수 감소를 제공합니다. 빠른 상승 속도는 사이클 시간을 단축시키면서도 프로파일 제어를 포기하지 않으며, 안정적인 출력은 여러 레시피에서 엄격한 공정 창 안에서 유지됩니다.
실용적인 세부 사항
설치는 램프 베이스와 커넥터를 챔버 고정 장치에 맞추고, 전압 및 냉각 호환성을 확인하는 것으로 간단합니다. 안정적인 복사 조도를 얻기 위해 짧은 예열을 제공하고, 그에 따라 레시피 상승을 계획하십시오.
냉각수를 깨끗하고 건조하게 유지하고, 라인 전압을 안정적으로 유지하십시오. 긴 캠페인 동안 균일성을 유지하기 위해 정기적인 광학 검사를 계획하십시오.