Di bilik proses pembuatan wafer, perubahan suhu semasa proses pembakaran atau pengeringan bahan fotoresist berlaku dengan cepat – ini menyebabkan perubahan pada lebar garisan dan penurunan kualiti hasil pengeluaran. Jika proses pembakaran tidak dikawal dengan baik, akan timbul sisa-sisa bahan setelah proses etching, dan kegagalan dalam proses pengeluaran akan meningkat. Kami telah membangunkan sistem pemanasan khusus untuk mengurangkan variasi suhu tersebut.
Komponen utama sistem ini ialah lampu halogen inframerah gelombang pendek yang terletak di dalam selongsong kuarza. Lampu ini direka untuk memberikan pemanasan yang cepat dan terfokus, dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Di kawasan pembakaran, keseragaman suhu pada setiap wafer dapat dikekalkan pada tahap ±0.1°C, supaya bahan fotoresist mendapat suhu yang sama setiap kali ia digunakan. Dalam bilik bersih kelas 1–100, proses pengeluaran berjalan tanpa penciptaan zarah-zarah kecil, sekaligus memastikan permukaan mask, lensa, dan wafer tetap bersih.
Kualiti output tetap stabil walaupun setelah 5,000 jam penggunaan, dengan penurunan kualiti kurang dari 5%. Ini membolehkan proses pengeluaran berlangsung 24/7 tanpa perlu penyesuaian yang berterusan.
Inilah kelebihan lampu ini: ia dapat menyesuaikan suhu pembakaran agar sesuai dengan nilai Tg bahan fotoresist, memastikan proses pengeringan berjalan dengan sempurna sebelum proses litografi, serta mengelakkan adanya kawasan panas semasa proses pembakaran. Hasilnya, kawalan ketepatan ukuran wafer menjadi lebih baik, jumlah kerja pendaurulangan berkurangan, dan proses pengujian dapat dirancang dengan lebih baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu hanya memanaskan objek yang dituju, bukan seluruh bilik tersebut.
Pemasangannya sangat mudah: cukup pastikan antaramuka penyambung alat anda sesuai, dan pastikan tiada halangan pada laluan cahaya. Lampu ini beroperasi pada intensiti yang tinggi, jadi perlindungan dan mekanisme keselamatan perlu dipasang untuk melindungi para pekerja dan peralatan di sekitarnya. Lakukan pemeriksaan berkala pada selongsong kuarza untuk memastikan segala-galanya tetap bersih dan boleh diulang guna dari segi suhu.