300mmラインでは、ベイク工程においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり、どのようなベイク作業やシフトでも同じ性能を発揮します。
重要な点 私たちは、Axcelis社のベイクチェンバーに適した短波長ハロゲンエミッターを使用しています。これにより、数秒以内に迅速かつ方向性のある加熱が可能です。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内で維持され、そのおかげでソフトベイクやハードベイクのプロファイルも安定します。石英製の本体と特殊な端子構造により、クラス1のクリーンルーム環境でも問題なく使用でき、粒子の発生もほとんどありません。5,000時間以上使用しても、温度変動は5％未満に抑えられます。
フォトレジストの処理では、熱管理が非常に重要です。このスペア部品を使用すれば、本来のベイク曲線が再現され、寸法のばらつきが減少し、温度による不良品の発生も抑えられます。迅速な熱収束により、サイクルタイムが短縮されますが、プロファイルのコントロールは維持されます。
また、要素が必要に応じてのみ加熱されるため、エネルギー消費も削減されます。信頼性が高いため、予期しない停止や予防的な交換が少なくなり、稼働時間が安定します。
これらの仕様により、問題を回避できます。部品は正確なチェンバーモデルや電圧に合わせて選ぶ必要があります。コネクタの向きや接続圧力も確認する必要があります。接続が間違っていると、熱点ができて早期に故障する可能性があります。
交換は、緊急停止時ではなく、メンテナンスの際に行うべきです。設置後は、短期間のウォームアップが必要です。バッチを出荷する前に、プロファイルを確認してください。