サラマンダー式電気ヒーター
高齢者用の足浴室において、快適さとは、高温の空気を送り込むことではありません。重要なのは、部屋全体をサウナのようにしてしまわず、足の裏までしっかりと温めることです。足が冷たいと、血流が悪くなり、筋肉が凝ってしまい、本来の効果が得られません。Salamanderの電気ヒーターは、短波赤外線ランプを利...
アクセリスのヒーター素子の交換部品
300mmラインでは、ベイク工程においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり...
屋外用放射暖房機
夕方になって空気が冷たくなると、テラスの椅子には誰も座らなくなります。人々は家の中に入っていき、家が人々が集まる場所になります。しかし、屋外用の赤外線ヒーターを使えば、状況は変わります。寒い場所でも、人々がそこにいたくなるような場所に変わり、太陽が沈んだ後も会話が続けられます。
技術的に重要な点...
ウェーハIR用高精度ヒート
製造現場では、フォトレジストの焼成温度が0.5℃変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまうことをすぐに理解できます。ウェーハのIR加熱装置は、一回ずつ同じような熱処理を実現しなければならず、プロセス中に粒子が発生したり、稼働時間が損なわれたりしてはいけません。
重要なのは何か?...
石英ヒーター
想像してみてください。快適な夕方、パティオヒーターが静かに動いており、みんなが暖かく過ごせている。しかし5年ほど経つと、ヒーターの部品が劣化し始めます。一般的なヒーターの場合、修理を依頼し、待っている間に費用もかかります。しかし、私たちの石英赤外線ヒーターの場合、修理は非常に簡単です。
実際にはど...
ウェーハバーンインテスト用加熱ランプ
製造現場では、バーンイン処理やフォトレジストの加熱処理中に生じる温度変動は、すぐに現れます。それによりライン幅が不安定になったり、歩留まりが低下したりします。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが乱れると、エッチング後に残留物が残り、パラメトリックな故障が増えてしまいます。私たちは、このような...
工場乾燥設備のエネルギー診断
製造現場では、問題が発生する前には気づきにくいことがあります。乾燥時の温度均一性にわずかなばらつきがあるだけで、エネルギー消費量やスクラップの発生が増えてしまいます。ソフトベイクやクリーニング後の乾燥では、数度単位の精度が求められます。たとえわずかな熱点があっても、それがパターン上の欠陥として現れ...
電気ヒーター
想像してみてください。照明が消え、スクリーンが点灯し、お気に入りの映画のオープニング音楽が流れ始めます。しかし、ファン付きのヒーターから発せられるうるさい音が、その雰囲気を台無しにしてしまいます。これこそが、私たちがこの電気式赤外線ヒーターを開発した理由です。ホームシアターでは、音響環境が非常に重...
寝室用ヒーター
シャワーを浴び終わって、まだ湿った冷たいバスルームに出るのは、単に不快なだけではありません。肩がこってしまったり、体が冷たく感じられたりして、本来のリラックスタイムが、急いで体を乾かす時間に変わってしまいます。最近のバスルームでは、仕上げが向上し、快適さへの要求も高まっていますが、従来の球形のヒー...
フォトレジスト焼成ランプ
リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの温度が1℃変動するだけでも、線幅に影響を与えます。また、CDの制御を乱し、サイドウォールの角度も変わり、最終的には歩留まりにも悪影響を及ぼします。ベイク用ランプは、クリーンルーム内での温度管理を行うための重要な要素です。
技術的に重要なのは、...
オゾンフリー赤外線ランプ
製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でもずれが生じると、重要な寸法が規格を外してしまい、大量の製品が廃棄されてしまいます。熱の均一性や化学的純度というのは、単なる数値に過ぎず、それが品質を左右する要因なのです。
実際に重要なのは何か 私たちは、オゾンを含まない赤外...
現代の電気ヒーター
ギャラリーや博物館において、不適切な熱源を使うと、単に不快感を与えるだけでなく、守りたい貴重な作品を損傷させてしまう可能性もあります。強制送風式のシステムでは、ほこりが舞い上がったり、温度や湿度が急変したりして、紙やキャンバス、顔料、木材などに悪影響を与えます。重要なのは、人々に快適な温かさを提供...
壁掛け型室内ヒーター
寒い角や風が吹き込む部屋では、思った以上に空間が狭く感じられます。通常の対流式ヒーターは空気を循環させて天井を温めるだけで、足元は依然として寒いままです。その結果、快適さが不均一になり、エネルギー代も高くなってしまいます。
壁掛け型の赤外線ヒーターに変えれば、部屋の雰囲気が変わります。このヒーター...
小型電気ヒーター
カフェのテーブルに寒い場所があると、すぐに客足が遠のきます。風の強い場所では、何もかもが遅くなってしまいます。駅や屋外のカフェなどでは、人々はシステムが温まるのを待つ時間なんてありません。人々には温かさが必要で、しかもすぐに必要です。
実際に重要なのは何か 私たちが作るミニ電気ヒーターは、短波赤外...
ウエハレベルCSP チップスケールパッケージ ヒーター
製造現場において、温度の変動は許容されるものではなく、厳しく制御されなければなりません。たとえわずか1度の温度変動があっても、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。また、CSPスタックの硬化が不均一だと、ウェーハに歪みが生じ、歩留まりも低下してしまいます。ウェーハレベルのCSPを利用するには、温...