半導体用ヒーターの配線が本当に耐久性を持っているかを確認する方法
半導体業界では、わずかなアーク発生だけで、一括して作られたウェーハ全てがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。そのため、私たちはこのようなヒーターにはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用します。高温になっても溶融したり、有害なガスを放出したりすることはありません。
しかし、単に適切な材料を使うだけでは不十分です。真に安心できるのは、配線が工場を出る前にどのように検査されているかです。
なぜ、1インチ毎に検査するのか
私たちは「ランダムサンプリング」を行いません。それは冒険すぎます。代わりに、すべての配線に対して完全な耐圧試験および絶縁抵抗試験を行います。つまり、絶縁体が破壊される限界まで負荷をかけて、見えない部分、例えば微小な穴や薄い部分などを見つけ出すのです。もし配線が壊れてしまったら、廃棄されます。
これにより、実際にヒーターに設置した時、電流が正しく導体内に留まっており、ケース内部に漏れないことが確実になります。
PTFEの利点と欠点
PTFEは耐熱性に優れています。PVCの場合、このような環境下では数秒で燃え尽きてしまいます。しかし、問題点もあります。テフロンは非常に滑りやすく、他の材料と結合しにくいのです。そのため、圧着やはんだ付けの際には特に注意が必要です。しっかりと固定されていないと、温度変化によって配線が外れてしまう可能性があります。
装置を安全に保つために
高性能な半導体装置では、漏れ電流があってはなりません。このような絶縁性能のチェックを徹底することで、エンジニアを悩ませる断続的なショートのリスクを排除できます。そうすれば、安定した動作が得られます。ちなみに、端子ブロックも確認してください。もし端子ブロックが配線と同等の耐熱性を持っていなければ、どんな高品質な配線でも意味がありません。接続部が弱点になってしまいます。