化学的洗浄作業における金メッキ処理された赤外線ランプを使って安全を確保する 半導体のウェットプロセスで作業を行う際、加熱用のランプは、爆発や火災の危険がある蒸気のすぐ近くに設置されます。このような状況では、普通の石英管を使用すると問題が生じやすくなります。そのため、私たちは金メッキ処理された赤外線...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛...

半導体用ヒーターの配線が本当に耐久性を持っているかを確認する方法 半導体業界では、わずかなアーク発生だけで、一括して作られたウェーハ全てがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。そのため、私たちはこのようなヒーターにはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用します。高温になっ...

IR半導体ヒーターにおける適切な温度制御 もし、工場内の二酸化炭素排出量を削減したいと思っているなら、従来の抵抗式オーブンはエネルギーの無駄遣いだということに気づいているはずです。そんな時は、赤外線ヒーターを利用するのが最善です。しかし、問題は、単に熱源を変えるだけでは不十分だということです。急速...

オーブンを待っている時間を止めよう：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし、依然として半導体の加工に強制送風方式を使用しているのであれば、実質的には半日を待つことに費やしていることになります。 強制送風方式の仕組みを考えてみましょう。空気を加熱し、その空気がチャンバーを温めます。そして運が良ければ、最終...

はじめに 私たちは、半導体のパッケージングやテスト工程で使用される赤外線ヒーターを製造しています。これらはごく普通のヒーターではありません。安定した稼働と再現性が重要となる後工程向けに特別に設計されているのです。 「ファウンドリ対応」の製品を選べば、日々厳しい状況下でも故障せずに稼働し続けることが...

リソグラフィーの工程において、焼成温度が0.5℃変動するだけで、線幅はナノメートル単位で変わってしまいます。それにより、何時間もかけて行った作業が無駄になってしまいます。私たちは、このような温度変動を未然に防ぐために、調光可能な半導体ヒーターランプを開発しました。これにより、熱制御を再現性のあるプ...