爆発性物質がある環境での安全性の確保
化学洗浄装置を使ってウェーハを加熱する際には、単なる熱源だけでは不十分です。安心感も必要です。
可燃性や爆発性のある溶剤を使用する場合、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろリスクそのものです。そのため、私たちは専用のケースを用いてヒーターを製造しています。これにより、化学物質が悪影響を及ぼしても、点火の危険を防ぎ、安定性を保つことができます。
ハウジングの扱い方
石英管をそのまま露出した状態にしておくわけにはいきません。それは問題を招く行為です。
揮発性のある蒸気が加熱要素に当たったり、事故を引き起こしたりするのを防ぐため、すべてを密封された防爆ハウジングで覆います。高純度の石英ガラスを使用することで、圧力がかかっても変形しないため、赤外線がウェーハに正確に当たります。
また、配線についても、高温用のガスケットを使って密封します。これにより、腐食性のあるガスが電子機器に触れるのを防ぎ、予期せぬ故障を防げます。
適切な温度の維持
ここがポイントです。私たちは短波長赤外線を利用しています。
これにより、ウェーハの表面を直接加熱できます。空気や周囲の化学液を加熱する無駄なエネルギーが不要になります。これにより、溶剤の引火点から遠ざかることができます。
私たちは厳格な許容範囲を設定しています。もし温度が数度でもずれると、ウェーハが破損するだけでなく、安全警報が鳴り、全体の工程が停止してしまう可能性があります。誰もそれは望みません。
実際の状況
正直に言えば、利点と欠点があります。
高密度の赤外線加熱は多くの電力を消費します。急速な加熱は生産効率を高めますが、あまりに多くの熱が一箇所に集中するため、筐体には強力な放熱装置が必要です。
もし筐体の排気が適切でなければ、シール部分が早く劣化してしまいます。これは物理法則によるものです。
私たちは、既存の洗浄ラインに直接取り付けられるようにこの装置を設計しました。迅速な乾燥や硬化に必要な高い熱密度を得られる一方で、筐体によって電気と化学物質が分離されます。火花も漏れもなく、安定した工程が実現できます。