IR半導体ヒーターにおける適切な温度制御 もし、工場内の二酸化炭素排出量を削減したいと思っているなら、従来の抵抗式オーブンはエネルギーの無駄遣いだということに気づいているはずです。そんな時は、赤外線ヒーターを利用するのが最善です。しかし、問題は、単に熱源を変えるだけでは不十分だということです。急速な温度変化にも対応でき、誤差が生じないようなサーモカップルが必要です。
私たちは、高温が発生する赤外線ランプの直近にセンサーを設置しています。
「遅延」問題の解決策
半導体ヒーターでは、「完璧」と「失敗」の境界線は非常に薄いです。一瞬は正常な状態でも、次の瞬間にはウェーハが過熱してしまいます。これは本当に厄介な問題です。
このような事態を防ぐために、高品質なタイプKやNのサーモカップルを使用します。これらは、ハロゲンランプからの放射線に耐えられるほど強固です。
しかし、本当の秘訣はプローブの直径にあります。プローブが太すぎると、熱遅延が生じます。センサーがPIDコントローラーに温度が高すぎると伝える頃には、既にダメージが発生してしまいます。まるで、スピードメーターの示す数値が実際の速度より5秒遅れている車を運転しているようなものです。良い感じはしません。
ノイズや化学物質への対処
半導体製造現場では電気的なノイズが多くあります。高圧の赤外線電源やその他の装置の影響で、ミリボルト単位の信号が乱れてしまいます。そこで、私たちはケーブルを遮蔽してEMIを防ぎ、クリーンな信号を得るようにしています。
また、シースの選択も重要です。真空や不活性雰囲気の中で作業する場合は、ステンレス鋼やインコネルが適しています。しかし、厚いシースを使うと化学物質からセンサーを保護できますが、反応速度が遅くなります。つまり、装置を守りつつ、迅速に温度を上昇させるというバランスを取る必要があります。
エネルギー節約（そして予算の節約）
赤外線ランプの利点は、部屋全体を温めるのではなく、ウェーハだけを温めることができる点です。これはとても効率的です。
私たちのサーモカップルは、この効率性を実現するための正確なフィードバックループを構築します。これらを閉ループシステムに接続することで、温度の急激な上昇を防ぎ、無駄なエネルギーの消費を抑えることができます。
これにより、エネルギー代を削減し、環境負荷も低減できます。それだけです。