なぜスマートファブではオーブンの代わりに赤外線を使う必要があるのか？ インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、従来の対流式オーブンが実際にはかなり問題だと気づいているはずです。クリーンルームでは、空気の流れ自体が敵となります。対流によってほこりや微粒子が舞い上がり、それが災害の原因となります。
そこで役立つのが赤外線です。熱い空気を送り込む代わりに、エネルギーを直接対象物に照射します。風もなく、ほこりもありません。純粋な熱だけです。
迅速なデータ処理と迅速な加熱
スマートファブではリアルタイムのデータが不可欠です。私たちの赤外線システムは、PLCフレームワークに簡単に接続できるように設計されています。
最も良い点は、抵抗コイルの場合、加熱するのに時間がかかるということです。一方、赤外線ランプなら、数秒で目標温度に到達します。これにより、「ジャストインタイム」の加熱が可能になります。センサーからの情報に基づいて、動的に出力を調整することができます。敏感なウェーハを過剰に加熱したり、オーブンの反応が遅くて材料を無駄にしたりする心配がありません。
スペースの節約（そして精神的な負担の軽減）
赤外線システムを使えば、機器のサイズを縮小できます。熱が直接対象物に当たるため、空気を温めるための大きな断熱容器は不要です。エネルギーを正確に必要な場所に送るだけです。
何を行うかによって、材料の深部に熱を与える必要がある場合は短波エミッターを使用し、表面のみを加熱する場合は中波エミッターを使用します。
ただし注意が必要です。このような高出力は集中した熱を生み出します。もし筐体に十分な放熱機能がなければ、部品が破壊されてしまいます。必ず冷却装置を設置してください。
清潔さの維持
ヒーターには石英製のケースを使用して、ガスの漏れを防ぎます。加熱素子が外気に露出していないため、金属片や炭素が作業面に落ちる心配もありません。
デジタルグリッドに接続すれば、すべてがスムーズに動作します。ワット数や表面温度をリアルタイムで確認でき、各バッチが同じ加熱プロセスを経るようにできます。
これにより、手動での操作に頼ることなく、実際にフィードバックを得られる生産ラインを実現できます。