省エネ型ウェーハヒーター

爆発性物質がある環境での安全性の確保 化学洗浄装置を使ってウェーハを加熱する際には、単なる熱源だけでは不十分です。安心感も必要です。 可燃性や爆発性のある溶剤を使用する場合、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろリスクそのものです。そのため、私たちは専用のケースを用いてヒーターを製造して...