化学的洗浄作業における金メッキ処理された赤外線ランプを使って安全を確保する
半導体のウェットプロセスで作業を行う際、加熱用のランプは、爆発や火災の危険がある蒸気のすぐ近くに設置されます。このような状況では、普通の石英管を使用すると問題が生じやすくなります。そのため、私たちは金メッキ処理された赤外線ランプを利用します。これにより、作業場所を危険な場所にしないまま、必要な熱制御が可能になります。
なぜ金なのか？
それは、装置を見栄え良くするためではありません。金の層は鏡のように機能し、赤外線エネルギーをウェハーに集中させます。これにより、熱が適切な場所に留まり、ランプの本体が過度に熱くなるのを防ぎます。本体の熱が少なければ、化学物質の蒸気が引火する可能性も低くなります。
基材として石英を使用するのは、急激な温度変化にも強いからです。しかし、プロのアドバイスとしては、必ず手袋を着用することです。皮膚から出るわずかな油分でも、加熱されるとガラスが割れてしまうことがあります。
危険な場所への対処法
爆発性のある環境では、ちょっとした火花でも大変なことになります。それを防ぐために、電極界面のシールには細心の注意を払います。高品質なセラミック絶縁体や密閉式のシールを使用することで、ランプとチャassisの間で電気的な放電が起こる可能性を完全に排除します。
もしシールが緩んでしまうと、化学物質の蒸気がランプの内部に漏れ込む可能性があります。そうなると、最悪の場合、火災が発生することもあります。それを防ぐために、腐食性の強い洗剤に耐えられるような強化されたエンドキャップを使用します。
コスト面のデメリット
金メッキ処理されたランプは、非メッキ処理されたランプよりも高いパワーを発揮し、急速に加熱されます。効率は高いですが、電源装置には大きな負担がかかります。配線やコンタクターがそのワット数に耐えられるかどうかを確認する必要があります。そうでないと、電圧降下が起こってしまいます。
最後に、金メッキ処理は非常に有効ですが、同時にデリケートでもあります。表面に傷がつくと「ホットスポット」ができ、それがランプの寿命を縮める原因になります。光学部品を清潔に保ち、取り付けをしっかり行えば、問題ありません。