دیگر دیوارههای دستگاه را گرم نکنید!
اکثر لامپهای مادون قرمز، کمی نامنظم عمل میکنند؛ آنها گرما را در تمام جهات – یعنی ۳۶۰ درجه – پخش میکنند. در دستگاههای تولید ویفر، این موضوع مشکلساز است؛ زیرا به جای اینکه تمام انرژی به ویفر برسد، بخش زیادی از آن به دیوارههای داخلی دستگاه برخورد میکند.
این کار، هدر رفتن انرژی است؛ علاوه بر این، باعث میشود سطح خارجی دستگاه آنقدر گرم شود که میتواند باعث سوختن افراد شود.
به همین دلیل از روش گرمایش جهتدار استفاده میکنیم.
گرما را در جای مناسب آن قرار دهید
فکر کنید که در حال تغییر از لامپ ساده به فلاش لیزر هستید؛ ما از بازتابندههای داخلی و پوششهای ویژه برای هدایت تابش گرما استفاده میکنیم.
با کوچک کردن پرتو، گرما مستقیماً به ویفر میرسد و از دیوارههای داخلی دستگاه دور میماند. در نتیجه، دیگر نیازی نیست برای گرم کردن هوا و دیوارههای فولادی هزینه کنید؛ همچنین، سیستم خنککننده دستگاه نیز نیازی به کار سخت ندارد. این روش، کار را برای همه آسانتر میکند.
بخش دشوار (و نحوه مقابله با آن)
تمرکز انرژی، تغییراتی در وضعیت دستگاه ایجاد میکند؛ چرا که چگالی گرما بر روی سطح ویفر بسیار بالا میشود. این موضوع برای دستگاههایی که نیاز به یکنواختی دما دارند، بسیار مفید است.
اما باید مراقب نقطه تمرکز گرما باشید؛ اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، نقاط گرم ایجاد خواهد شد؛ اگر خیلی دور باشد، پرتو گرما پخش خواهد شد و هدف اصلی از استفاده از روش گرمایش جهتدار از بین خواهد رفت. بنابراین، باید تنظیمات لامپ را به درستی انجام دهید تا دیوارههای دستگاه سرد بمانند.
ایمنی و مسائل مربوطه
سرد نگه داشتن دیوارههای دستگاه، فقط مربوط به هزینههای برقی نیست؛ بلکه مربوط به جلوگیری از سوختن افراد نیز هست. وقتی که داخل دستگاه سرد باقی میماند، تعمیرات و بارگذاری ابزارها برای افرادی که کار را انجام میدهند، بسیار آسانتر خواهد بود.
نکته خوب این است که این لامپها میتوانند جایگزین لامپهای مادون قرمز استاندارد شوند؛ ما از غلافهای کوارتزی برای این لامپها استفاده میکنیم تا بتوانند در برابر شوکهای حرارتی مقاومت کنند.
یک نکته مهم: حتماً منبع تغذیه لامپ را بررسی کنید؛ زیرا با تمرکز بالای انرژی، میزان جریان الکتریکی میتواند متفاوت از لامپهای استاندارد باشد. فقط مطمئن شوید که توان لامپ مناسب باشد، تا بتوانید از آن استفاده کنید.